マイクロカン酸剤によるクヌーセン効果の観察

Knudsen効果は理論的に推定され、U字型のシリコンマイクロカンチレバーを使用して実験的に観察されます。クヌーセンの力は、ほとんどの場合、マイクロカン酸剤を含む非常に小さいですが、これらの力が重要であり、原子間顕微鏡および微小電気機械系（MEMS）で重要である可能性がある状況が存在します。Knudsen力の存在に関する基準が概説され、自由分子領域の力に対して圧力の線形関数の形の分析的発現が与えられます。実験結果は、分子領域で直線的に変化しながら、移行領域でピークを示します。

The Knudsen effect is estimated theoretically and observed experimentally using a U-shaped silicon microcantilever. Though Knudsen forces are extremely small in most cases involving microcantilevers, there exist situations where these forces can be significant and may be important in atomic force microscopy and in microelectromechanical systems (MEMS). The criteria for the presence of Knudsen forces are outlined and an analytical expression in the form of a linear function of the pressure is given for the force in the free molecular regime. The experimental results display peaks in the transitional regime while varying linearly in the molecular regime.