WDS対シリコンドリフト検出器EDS：天然ケイ酸塩鉱物の定量的化学分析の比較のための症例報告

電子プローブ微量分析（EPMA）は、鉱物学、岩石学的、材料研究におけるさまざまな固体標本の元素濃度を定量的に決定するための不可欠な分析的アプローチです。波長分散型X線（WDS）またはエネルギー分散型X線（EDS）分光技術は、化学成分を定義するために、入射電子ビームによって試験片の各要素から生成された特性X線を収集できます。WDSは、スペクトル分解能とトレース要素を検出する能力が高いため、好ましい技術でしたが、シリコンドリフト検出器（SDD）を備えた新世代EDSシステムは、薄いウィンドウと統合されたデジタル処理電子機器を装備しているため、WDSスループットにアプローチすると主張されています。この研究では、天然ケイ酸塩鉱物上のWDS装備システムに関するSDD EDSシステムの分析能力を比較しました。この目的のために、存在するケイ酸塩鉱物がすでにさまざまなWDSシステムによって分析されていた天然の岩サンプルは、これらの結果をSDD EDSシステムで取得した結果と比較するために選択されました。SDD EDSは、さまざまなWDSシステムで得られた同じミネラルの結果と比較して、主要な要素（Na、Mg、Al、Si、K、Ca、Ti、Mn、Fe）の満足のいく結果をもたらしました。

Electron probe microanalysis (EPMA) is an essential analytical approach to determine elemental concentrations of various solid specimens quantitatively in mineralogical, petrological and materials research. Either wavelength dispersive X-ray (WDS) or energy dispersive X-ray (EDS) spectrometric techniques can collect the characteristic X-rays generated from each element in the specimen by an incident electron beam in order to define chemical constituents. Although WDS has been the preferred technique because of its higher spectral resolution and ability to detect trace elements, new generation EDS systems with silicon drift detectors (SDD), equipped with thin windows and integrated digital processing electronics, are claimed to approach the WDS throughput. In this study, we compared the analytical capability of a SDD EDS system with respect to WDS equipped systems on natural silicate minerals. For this purpose, natural rock samples, in which the silicate minerals present had already been analysed by various WDS systems, were chosen to compare these results with the ones acquired with a SDD EDS system. SDD EDS yielded satisfactory results for major elements (Na, Mg, Al, Si, K, Ca, Ti, Mn and Fe) compared with the results of the same minerals obtained by various WDS systems.