エレクトロヒドル力学（EHD）インクジェットヘッドのためのナノスケールノズルの製造およびドロップオンデマンド操作による高精度パターン形成

電気水力学（EHD）スプレーは、マイクロコロイドスラスタからフィルム堆積およびインクジェット印刷のテクノロジーまでさまざまな用途で利用されています。最近、EHDインクジェットヘッドが開発され、デジタルディスプレイ、印刷回路板（PCB）、太陽電池などの印刷された電子機器の製造を促進しました。ここでは、EHDインクジェット印刷用のナノスケールノズルの製造と適用を報告します。ノズルは、サブミクロンの直径の先端を持つ石英マイクロピペットの内側または外側に電気的に導電性層を堆積させることにより製造されました。インクジェットヘッドに必要なドロップオンデマンド制御により、ナノスケールのノズルはガラス基板上の細かいパターンで銀液滴を分配しました。

Electrohydrodynamic (EHD) spraying has been utilized in applications varying from micro-colloid thrusters to technology for film deposition and inkjet printing. Recently, EHD inkjet heads were developed to facilitate the fabrication of printed electronics such as digital displays, printed circuit boards (PCBs), and solar cells. Here, we report the fabrication and application of nanoscale nozzles for EHD inkjet printing. The nozzles were fabricated by depositing an electrically conductive layer on either the inside or outside of quartz micropipettes with sub-micron diameter tips. With the drop-on-demand control needed for inkjet heads, our nanoscale nozzles dispensed silver droplets in fine patterns on glass substrates.