半導体製造プラントでの臭気排出エピソード調査における複数のオープンパスフーリエ変換赤外線（OP-FTIR）分光計を使用する有効性

この研究では、臭気エピソードを例として使用して、3日間の連続した監視で3つのオープンパスフーリエ変換赤外線（OP-FTIR）分光計を同時に使用することの有効性を評価しました。対応する監視パスは、半導体製造プラントの可能性のある排出源と、ハイテク工業団地にある周囲の光電子関連工場と電子関連の工場に割り当てられました。3つのモニタリングパスでは43.9％の合計臭気率があり、それぞれが736の連続5分間の監視記録で構成され、アンモニア、オゾン、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルエーテート（PGMEA）などの検出可能な臭気化合物が含まれていました。。ロジスティック回帰モデルの結果は、下方風向の排出源に最も近い一般的な南風とOP-FTIRモニタリングパスが、オッズ比（OR）3.8（95％）の匂いサンプルを検出するのに高い有効性をもたらすことを示しました（95％信頼区間（CI）：2.9-5.0）および5.1（95％CI：3.6-7.2）。一方、アンモニアの臭気サンプルを検出するオッズ比は、パスIIに近いパスIIIに近いパスIIに近いパスIIで7.5でした。PGMEAはPath IIでは監視できませんでしたが、Path IIIである可能性があり、OP-FTIRの監視パフォーマンスのスタック内の監視経路と流れ排出速度の重要性を示しています。その上、モニタリング期間の65.0％で構成される南の一般的な風で、臭気サンプル検出のオッズ比5.1が得られました。一般に、複数のパスで同時に動作するOP-FTIRは、有効性を高めるために、密集した植物領域での臭気の緊急事態、複数ソース排出、化学監視などの比較的複雑なエピソードの調査のために考慮されるものと結論付けられています。OP-FTIRモニタリングの。

This study evaluated the efficacy of simultaneously employing three open-path Fourier transform infrared (OP-FTIR) spectrometers with 3-day consecutive monitoring, using an odor episode as an example. The corresponding monitoring paths were allocated among the possible emission sources of a semiconductor manufacturing plant and the surrounding optoelectronic and electronic-related factories, which were located in a high-tech industrial park. There was a combined total odor rate of 43.9% for the three monitoring paths, each comprised of 736 continuous 5-minute monitoring records and containing detectable odor compounds, such as ammonia, ozone, butyl acetate, and propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA). The results of the logistic regression model indicated that the prevailing south wind and the OP-FTIR monitoring path closest to the emission source in down-wind direction resulted in a high efficacy for detecting odorous samples with odds ratios (OR) of 3.8 (95% confidence interval (CI): 2.9-5.0) and 5.1 (95% CI: 3.6-7.2), respectively. Meanwhile, the odds ratio for detecting ammonia odorous samples was 7.5 for Path II, which was downwind closer to the possible source, as compared to Path III, downwind far away from the possible source. PGMEA could not be monitored at Path II but could be at Path III, indicating the importance of the monitoring path and flow ejection velocities inside the stacks on the monitoring performance of OP-FTIR. Besides, an odds ratio of 5.1 for odorous sample detection was obtained with south prevailing wind comprising 65.0% of the monitoring time period. In general, it is concluded that OP-FTIR operated with multiple paths simultaneously shall be considered for investigation on relatively complicated episodes such as emergency of chemical release, multiple-source emission and chemical monitoring for odor in a densely populated plant area to enhance the efficacy of OP-FTIR monitoring.