表面音波デバイスのガイド層の実装：レビュー

信頼性が高く、効率的で、携帯用で小型化された表面音波（SAW）の研究開発状況を概説する目的は、バイオセンシングと医療診断のための実用的なデバイスを提案することです。幸いなことに、ラブモードセンサーは過去20年間に大きな注目を集めています。SAWデバイスのいくつかの定期的な構造モデル、特にインターディジタルトランスデューサー（IDT）、ウェーブガイドレイヤー、パターンズノがレビューされました。このような周期的な波のガイド層とパターン化されたZnoに基づくSAWデバイスは、従来のSAWデバイスよりもはるかに優れた優れた性能で実証されました。フォノニッククリスタルベースのSAWデバイスの2Dモデルと3Dモデルは、それぞれの周期的な円筒形の穴と柱の配列によってそれぞれ製造でき、SAWデバイスはQファクターとGHzレベルの周波数の両方を持つことができました。リング導波路と球状のソーデバイスには、バイオセンシングに潜在的なアプリケーションと実装があります。ZnOは、魅力的なガイド層材料の1つです。優れた特性を備えたナノワイヤ、ナノロッド、ナノファイバーなどのナノ構造により、ナノスコアのSAWデバイスはバイオセンサーではるかに敏感に貢献します。したがって、SAWとZNOのガイド層に基づくさまざまな用途が、免疫化学分析、in-situウイルスまたは細菌の決定、マイクロ流体自動化、細胞操作の間で予想されます。

The purpose of overviewing research and development status of dependable, efficient, and portable and miniaturized surface acoustic wave (SAW) is to propose practical devices for biosensing and medical diagnosis. SAW Love-mode sensors fortunately have a great deal of attention during last two decades. Several periodic structure models of SAW devices were reviewed, especially interdigital transducers (IDTs), wave guiding layers, patterned-ZnO. SAW devices based on such periodic wave guiding layers and patterned-ZnO were demonstrated with superior performance, much better than conventional SAW devices. Both 2D and 3D models of phononic-crystal-based SAW devices can be respectively fabricated by an array of periodic cylindrical holes and pillars, which allowed SAW devices to have both higher Q-factor and GHz-level frequency. Ring waveguide and spherical SAW devices would have potential applications and implementation in biosensing. ZnO is one of attractive guiding-layer materials. Its nanostructures, such as nanowires, nanorods and nanofibers provided with excellent properties, will make nanoscaled SAW devices contribute to be much more sensitive in biosensors. A range of applications based on SAW and ZnO guiding-layer would be therefore expected among of immunochemical analysis, in-situ virus or bacteria determination, microfluidic automation, and cell manipulation.