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Optics express2017Aug21Vol.25issue(17)

クロムフレネルゾーンプレートを使用したレーザーライトのタイトな焦点

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文献タイプ:
  • Journal Article
概要
Abstract

近距離場スキャン顕微鏡を使用して、ガラス基板上にスパッタになった70 nmクロムフィルムで製造された15 µmのゾーンプレートが、焦点距離と最も外側のゾーンの幅が入射波長λ= 532 nmに等しいことを示しています。半幅の半幅の直径の直径がfwhm =0.47λである円形のサブ波長焦点スポットに円形偏光ガウスビームになります。この値は、FWHM =0.46λのFDTD支援数値推定とほぼacccurate一致しています。y軸に沿って直線的に分極しているガウスビームに焦点を合わせると、楕円形のサブ波長焦点スポットがFWHMX =0.42λ(推定値fWhmx =0.40λ)およびfWhMy =0.64λを測定することが実験的に発見されます。ここに示されているサブ波長の焦点スポットは、非イメージョン振幅ゾーンプレートを使用することにより、均一に分極した梁のためにこれまで達成されたすべての中で最もタイトなものです。

近距離場スキャン顕微鏡を使用して、ガラス基板上にスパッタになった70 nmクロムフィルムで製造された15 µmのゾーンプレートが、焦点距離と最も外側のゾーンの幅が入射波長λ= 532 nmに等しいことを示しています。半幅の半幅の直径の直径がfwhm =0.47λである円形のサブ波長焦点スポットに円形偏光ガウスビームになります。この値は、FWHM =0.46λのFDTD支援数値推定とほぼacccurate一致しています。y軸に沿って直線的に分極しているガウスビームに焦点を合わせると、楕円形のサブ波長焦点スポットがFWHMX =0.42λ(推定値fWhmx =0.40λ)およびfWhMy =0.64λを測定することが実験的に発見されます。ここに示されているサブ波長の焦点スポットは、非イメージョン振幅ゾーンプレートを使用することにより、均一に分極した梁のためにこれまで達成されたすべての中で最もタイトなものです。

Using near-field scanning microscopy, we demonstrate that a 15-µm zone plate fabricated in a 70-nm chromium film sputtered on a glass substrate and having a focal length and outermost zone's width equal to the incident wavelength λ = 532 nm, focuses a circularly polarized Gaussian beam into a circular subwavelength focal spot whose diameter at the full-width of half-maximum intensity is FWHM = 0.47λ. This value is in near-accurate agreement with the FDTD-aided numerical estimate of FWHM = 0.46λ. When focusing a Gaussian beam linearly polarized along the y-axis, an elliptic subwavelength focal spot is experimentally found to measure FWHMx = 0.42λ (estimated value FWHMx = 0.40λ) and FWHMy = 0.64λ. The subwavelength focal spots presented here are the tightest among all attained so far for homogeneously polarized beams by use of non-immersion amplitude zone plates.

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