透過性kikuchi回折：信号対雑音比の影響

走査型電子顕微鏡における透過性kikuchi回折（TKD）測定の信号最適化は、異なるサンプルホルダー設計の比較によって調査されます。最適化された設計が提示されます。これは、金属シールドを使用して、サンプルを介した後に電子ビームを効率的にトラップします。比較のために、2番目のホルダー構成により、かなりの数の送信された電子がサンプルホルダーの表面から回折カメラ画面に戻ることができます。サンプルホルダーとの二次相互作用により、バックグラウンドレベルが大幅に増加すること、および最終的なキクチ回折信号の追加ノイズにつながることが示されています。バックグラウンド散乱を減らした最適化されたホルダー設計のクリーンなTKD信号により、カメラの完全なダイナミックレンジの2％の範囲で小さな信号の変化を使用することができます。パワースペクトルの分析で示されているように、処理されたキクチの回折パターンの信号対雑音比は、数桁改善されます。その結果、最適化された設計により、パターン信号とノイズ比の増加が可能になり、測定速度の増加と信頼性のインデックス作成につながる可能性があります。

Signal optimization for transmission Kikuchi diffraction (TKD) measurements in the scanning electron microscope is investigated by a comparison of different sample holder designs. An optimized design is presented, which uses a metal shield to efficiently trap the electron beam after transmission through the sample. For comparison, a second holder configuration allows a significant number of the transmitted electrons to scatter back from the surface of the sample holder onto the diffraction camera screen. It is shown that the secondary interaction with the sample holder leads to a significant increase in the background level, as well as to additional noise in the final Kikuchi diffraction signal. The clean TKD signal of the optimized holder design with reduced background scattering makes it possible to use small signal changes in the range of 2% of the camera full dynamic range. As is shown by an analysis of the power spectrum, the signal-to-noise ratio in the processed Kikuchi diffraction patterns is improved by an order of magnitude. As a result, the optimized design allows an increase in pattern signal to noise ratio which may lead to increase in measurement speed and indexing reliability.